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申请/专利权人：福建华清电子材料科技有限公司
摘要：本实用新型涉及氮化硅技术领域，本实用新型公开了一种氮化硅粉制备装置，包括氮化炉，所述氮化炉的外表面贯穿安装有氮气管。该氮化硅粉制备装置，通过电机带着主动齿轮转动和第一牙轮转动，主动齿轮转动带着从动齿轮和转轴转动，转轴转动带着转筒旋转进而带着翻料板在氮化炉内部旋转，翻料板旋转将氮化炉内部硅颗粒舀齐旋转上升，随翻料板旋转角度增大其内部硅颗粒从中滑动形成硅粒瀑下落，同时第一牙轮带着第二牙轮和套管旋转，套管旋转带着第四牙轮旋转，第四牙轮旋转带着第三牙轮和碾压辊旋转，碾压辊旋转配合翻料板对下落的硅粒瀑碾压，实现硅颗粒散落，增加与氮气的接触效果，保证硅颗粒氮化质量，实现对硅粒的破碎。
主权项：1.一种氮化硅粉制备装置，包括氮化炉（2），其特征在于：所述氮化炉（2）的外表面贯穿安装有氮气管（1），所述氮化炉（2）的右端贯穿转动安装有转筒（10），所述转筒（10）的内部贯穿安装有转轴（8），所述氮化炉（2）的右端通过支架（4）安装有电机（6），所述电机（6）的输出端安装有主动齿轮（5），所述转轴（8）的右端安装有从动齿轮（7），且主动齿轮（5）与从动齿轮（7）传动安装，所述转筒（10）左端的外表面安装翻料板（12），所述转筒（10）的内部安装有辅助机构（9）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建华清电子材料科技有限公司 一种氮化硅粉制备装置
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