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申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种清洗槽和硅片清洗系统。所述清洗槽包括：槽体，所述槽体内设置一具有开口的容纳腔，所述容纳腔用于容纳清洗液和花篮；加热管，所述加热管呈蛇形状铺设于所述容纳腔的底部，所述加热管用于从所述容纳腔的底部加热所述清洗液；以及提拉机构，所述提拉机构连接于所述槽体，所述提拉机构用于提拉所述花篮。本申请实施例可以避免在提拉过程中硅片吸附在一起的现象，避免湿片和碎片的产生，极大的提高了硅片的清洗成品率。
主权项：1.一种清洗槽，用于清洗硅片，其特征在于，所述清洗槽包括：槽体10，所述槽体10内设置一具有开口的容纳腔101，所述容纳腔101用于容纳清洗液和花篮20；加热管11，所述加热管11呈蛇形状铺设于所述容纳腔101的底部，所述加热管11用于从所述容纳腔101的底部加热所述清洗液；以及提拉机构12，所述提拉机构12连接于所述槽体10，所述提拉机构12用于提拉所述花篮20。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 一种清洗槽和硅片清洗系统
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