龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：南京理工大学
摘要：本发明公开了一种多场耦合低气压等离子体界面调控系统，包括低气压等离子体放电模块、温度场控制模块、电场控制模块和磁场控制模块；其中低气压等离子体放电模块在温度场控制模块、电场控制模块和磁场控制模块的分别控制下进行等离子体反应；温度场控制模块、电场控制模块和磁场控制模块分别控制反应过程中的温度、电场和磁场参数。本发明的表面温度场控制模块能在反应过程中实现表面温度的同步控制，包括限制表面温度的无规律升高或降低，或控制反应温度维持在既定范围；表面磁场控制模块能在反应过程中实现离子与电子的定向偏转及偏转半径，进而实现表面结构的调控；表面电场控制模块能在反应过程中实现离子与电子的定向加速或减速，进而实现表面结构的调控；相较于现有商业化低气压等离子体放电系统，本方案将温度场、电场、磁场耦合于放电系统中，并加以控制，能对衬底表面进行更精细的加工与结构控制。
主权项：1.一种多场耦合低气压等离子体界面调控系统，其特征在于，包括低气压等离子体放电模块、温度场控制模块、电场控制模块和磁场控制模块；所述低气压等离子体放电模块在温度场控制模块、电场控制模块和磁场控制模块的分别控制下进行气体等离子体反应；所述温度场控制模块、电场控制模块和磁场控制模块分别控制等离子体反应过程中的温度、电场和磁场参数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京理工大学 一种多场耦合低气压等离子体界面调控系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号