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申请/专利权人：苏州芯汇晶成半导体科技有限公司
摘要：本实用新型涉及进出料装置技术领域，尤其为一种晶圆清洗的进出料装置，包括工作台和电缸，工作台一侧固定连接有电缸，电缸上端固定连接有第一电机，第一电机主轴末端固定连接有调节框，工作台上端设有清理头，调节框一侧固定连接有第二电机，第二电机主轴末端固定连接有双向螺纹杆，双向螺纹杆外侧螺旋连接有螺块，螺块一侧固定连接有多级空心伸缩杆，螺块一侧固定连接有两极空心伸缩杆，螺块一侧固定连接有弹簧，本实用新型中，装置不仅方便对晶圆进行上下料，在清洗时装置可以自动对晶圆的正反面进行均匀的清洗，同时装置可以对晶圆夹持的部位进行清洗，提高对晶圆全面清洗的效果和清洗效率。
主权项：1.一种晶圆清洗的进出料装置，包括工作台1和电缸2，其特征在于：所述工作台1一侧固定连接有电缸2，所述电缸2上端固定连接有第一电机3，所述第一电机3主轴末端固定连接有调节框4，所述工作台1上端设有清理头5，所述调节框4一侧固定连接有第二电机6，所述第二电机6主轴末端固定连接有双向螺纹杆7，所述双向螺纹杆7外侧螺旋连接有螺块8，所述螺块8一侧固定连接有多级空心伸缩杆9，所述螺块8一侧固定连接有两极空心伸缩杆10，所述螺块8一侧固定连接有弹簧11，所述两极空心伸缩杆10一侧固定连接有水流板12，所述水流板12一侧固定连接有连接管13，所述连接管13下端一侧固定连接有连接块14，所述连接块14一侧固定连接有弹簧伸缩杆15，所述连接块14上端内侧转动连接有橡胶外圈16，所述水流板12内侧开设有流水凹槽17，所述水流板12下端内侧转动连接有固定杆18，所述固定杆18外侧固定连接有水板19，所述橡胶外圈16内侧固定连接有支撑壳20，所述支撑壳20内侧开设有通水孔21，所述调节框4一侧固定连接有水泵22。
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