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申请/专利权人：上海科技大学
摘要：本发明公开了一种真空同轴显微镜，涉及显微镜领域。本发明包括真空机构，真空机构包括真空腔和样品台，样品台设置于真空腔中且用于放置样品。物镜、第一反射镜组件、透镜、第二反射镜组件、显微镜调节设备和成像设备均设置于真空腔中。真空机构侧壁上还设有X射线窗口，物镜中设有物镜开孔，第一反射镜组件中设有反射镜组件开孔。物镜设于样品台一侧，且与第一反射镜组件一侧连接，第一反射镜组件顶部与透镜底部连接，透镜顶部与第二反射镜组件底部连接，第二反射镜组件一侧与成像设备连接，显微镜调节设备与第一反射镜组件底部可连接。通过上述设置，本发明能够在真空环境下完成X射线与样品的同轴成像，实现了X射线与样品的共定位。
主权项：1.一种真空同轴显微镜，用于对准X射线和样品，其特征在于：包括真空机构1、物镜2、第一反射镜组件3、透镜4、第二反射镜组件5、显微镜调节设备6和成像设备7；所述真空机构1包括真空腔11和样品台12，所述样品台12用于放置样品；所述样品台12、所述物镜2、所述第一反射镜组件3、所述透镜4、所述第二反射镜组件5、所述显微镜调节设备6和所述成像设备7均设于所述真空腔11中；所述真空机构1侧壁上还设有X射线窗口13；所述物镜2设于所述样品台12一侧，且与所述第一反射镜组件3一侧连接，所述第一反射镜组件3顶部与所述透镜4底部连接，所述透镜4顶部与所述第二反射镜组件5底部连接，所述成像设备7设于所述第二反射镜组件5一侧，所述显微镜调节设备6与所述第一反射镜组件3底部连接；所述物镜2中设有物镜开孔21，所述第一反射镜组件3中设有反射镜组件开孔3’；所述X射线窗口13、所述物镜开孔21和所述反射镜组件开孔3’位于同一直线上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海科技大学 一种真空同轴显微镜及使用方法
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