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一种键合机高刚性并联驱动机构 

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申请/专利权人:深圳市泰达智能装备有限公司

摘要:本实用新型公开了一种键合机高刚性并联驱动机构,包括X滑板和Y动力底板;X滑板底部设有X轴直线导轨模组;X滑板上方设有Y滑板,Y滑板底部设有Y轴直线导轨模组;Y动力底板上方设有Y动力滑板,Y动力滑板底部设有Y轴动力直线导轨;Y动力滑板与Y滑板相对的一端设有解耦导轨模组。本实用新型消除了丝杆在起动、变速、换向过程中因弹性变形、摩擦磨损和反间隙而产生的运动迟滞现象,提高了平台的刚度。传动装置取消了螺杆等部件的机械摩擦,运动的噪音将极大降低,同时响应非常灵敏和快速;整个平台设置有加强梁等结构,用于确保驱动平台的结构刚度和强度,提高平台运行稳定性,同时还通过设置减重结构满足设备轻量化的要求。

主权项:1.一种键合机高刚性并联驱动机构,其特征在于,包括水平相对布置的X滑板100和Y动力底板200;所述X滑板100底部设有在水平面上沿X轴布置的X轴直线导轨模组300;所述X滑板100上方设有能够在水平面上沿Y轴移动的Y滑板400,Y滑板400底部设有Y轴直线导轨模组500;所述Y动力底板200上方设有能够在水平面上沿Y轴移动的Y动力滑板600,Y动力滑板600底部设有Y轴动力直线导轨700;所述Y动力滑板600与Y滑板400相对的一端设有解耦导轨模组800。

全文数据:

权利要求:

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