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申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种硅片清洗槽和硅片清洗系统。所述硅片清洗槽包括：槽体，所述槽体内设置一具有开口的容纳腔，所述容纳腔用于容纳清洗液和花篮；加热管，所述加热管设置于所述容纳腔的底部，所述加热管用于从所述容纳腔的底部加热所述清洗液；提拉机构，所述提拉机构连接于所述槽体，所述提拉机构用于提拉所述花篮；以及挡流件，所述挡流件设置在所述容纳腔内且至少部分位于所述加热管的上方，所述挡流件用于阻挡所述加热管周围的所述清洗液朝向所述容纳腔的开口侧流动。本申请实施例所述的硅片清洗槽可以极大的提高硅片清洗的成品率。
主权项：1.一种硅片清洗槽，其特征在于，所述硅片清洗槽包括：槽体10，所述槽体内设置一具有开口的容纳腔101，所述容纳腔101用于容纳清洗液和花篮20；加热管11，所述加热管11设置于所述容纳腔的底部，所述加热管用于从所述容纳腔的底部加热所述清洗液；提拉机构12，所述提拉机构12连接于所述槽体10，所述提拉机构12用于提拉所述花篮20；以及挡流件13，所述挡流件13设置在所述容纳腔101内且至少部分位于所述加热管11的上方，所述挡流件13用于阻挡所述加热管11周围的所述清洗液朝向所述容纳腔的101开口侧流动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 一种硅片清洗槽和硅片清洗系统
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