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一种大马士革互联的电镀液及电镀方法 

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申请/专利权人:深圳创智芯联科技股份有限公司

摘要:本发明公开了一种大马士革互联的电镀液及电镀方法,包括以下质量浓度的组分:铜盐40‑80gL、浓硫酸150‑250gL、氯离子40‑70mgL、加速剂15‑45mgL、复合整平剂20‑60mgL、复合光亮剂60‑150mgL、阳极阻泥剂30‑90mgL。通过本发明申请的电镀液得到的电镀铜溶液进行电镀得到电镀层不仅镀层均匀,可承受高电流密度,且无折镀现象,深镀能力达到95%以上,且使用无氯加速剂,不会对基材造成损伤。

主权项:1.一种大马士革互联的电镀液,包括以下质量浓度的组分:铜盐40-80gL、浓硫酸150-250gL、氯离子40-70mgL、加速剂15-45mgL、复合整平剂20-60mgL、复合光亮剂60-150mgL、阳极阻泥剂30-90mgL;所述铜盐为硫酸铜;所述氯离子来源于盐酸;所述加速剂为5-甲基吲哚-2-甲基酸酯;所述复合整平剂为咪唑啉季铵盐和季戊四醇四巯基乙酸酯组成的组合物,且两者在使用时的质量浓度比为1:1;所述复合光亮剂为1-丁基-3-甲基咪唑三氟甲磺酸盐和1,1-二甲基胍硫酸盐组成的组合物;所述阳极阻泥剂为3,5-二硝基水杨酸;所述阳极阻泥剂与整平剂在使用时的质量浓度比为3:2。

全文数据:

权利要求:

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