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申请/专利权人：成都宏明双新科技股份有限公司

摘要：本发明公开了一种屏蔽罩Pin脚平面度检测对标方法，包括影像检测仪、放置在影像检测仪的检测平台上的直角三棱镜以及用于放置屏蔽罩的支撑块，将所述支撑块的上表面视为工作面，所述工作面为一平整的水平面，直角三棱镜和支撑块均置于影像检测仪镜头的正下方，所述支撑块的被测面紧贴直角三棱镜的侧表面；OMM检测仪通过此方法检测得到的数据比AIM在线光耦测量设备更加精确可靠，而OMM检测仪难以实现Pin脚平面度的自动化批量性检测，影响工作效率，但是却可用来作为AIM在线光耦检测的数据对标，使Pin脚在量产检测过程中AIM测试数据有偏倚时作为调机依据，使其检测结果逐渐趋近标准值，提高精确性，确保AIM在线光耦测量设备持续用于屏蔽罩Pin脚平面度批量检测。

主权项：1.一种屏蔽罩Pin脚平面度检测对标方法，其特征在于，该方法包括用于屏蔽罩Pin脚平面度检测的装置，该装置包括包括影像检测仪（1）、放置在影像检测仪（1）的检测平台上的直角三棱镜（2）以及用于放置屏蔽罩（5）的支撑块（4），影像检测仪（1）为OMM检测仪，将所述支撑块（4）的上表面视为工作面，所述工作面为一平整的水平面，工作面的形状与屏蔽罩（5）四周Pin脚的分布形态相同，所述直角三棱镜（2）的内设有45°倾斜设置的镜面（3），且直角三棱镜（2）和支撑块（4）均置于影像检测仪（1）镜头的正下方，所述支撑块（4）的被测面紧贴直角三棱镜（2）的侧表面；屏蔽罩（5）上还设有长Pin脚（51）和短Pin脚（52），所述支撑块（4）的工作面上设有与长Pin脚（51）配合的定位槽（6），所述短Pin脚（52）置于支撑块（4）工作面上，通过长Pin脚（51）和短Pin脚（52）使屏蔽罩（5）Pin脚朝下以自由状态的方式放置在支撑块（4）的工作面；基于检测装置，屏蔽罩Pin脚平面度检测对标方法，具体包括如下步骤：S1：取代表产品公差范围的10件屏蔽罩（5）作为分析样品，每件屏蔽罩上设置15个Pin脚检测点位；S2：先测量一件屏蔽罩（5）上的15个Pin脚检测点位，根据屏蔽罩（5）的形状，采用与屏蔽罩（5）形状相配合的支撑块（4），并将屏蔽罩（5）的Pin脚朝下对准定位槽（6）并放置在支撑块（4）上，使屏蔽罩（5）处于自由状态，然后将支撑块（4）置于OMM检测仪正下方，并使支撑块（4）的一侧面紧贴直角三棱镜（2）的直角边，将竖直的Pin脚通过镜面（3）为45°的直角三棱镜（2）反射并水平呈现在OMM检测仪镜头下方，实验室再按样品图纸尺寸要求使用OMM检测仪配和直角三棱镜（2）和支撑块（4）对屏蔽罩（5）的Pin脚平面度进行测量，测量Pin脚底部与支撑块（4）的工作面之间的距离；S3：根据不同尺寸公差带范围要求，按照上述步骤S2的测量方法依次测量剩余9件屏蔽罩上的15个Pin脚检测点位，并对测得的数据进行GRR分析；S4：步骤S3中，在进行GRR分析过程中，通过对测量系统重复性和再现性测评结果分析，针对尺寸公差带范围要求，并按公差带递增方式反推，验证GRR测量结果在产品尺寸不同公差范围内的接受程度；S5：取上述相同的代表公差带范围的10件屏蔽罩（5）样品，按照上述步骤S2的测量方法对每件样品测量至少三次并获得3组数据，取三次测量的平均值作为相关性样品的真值数据；再使用AIM在线光耦非标测量设备测试相同的10件屏蔽罩（5）样品，得出相应的AIM测量数据，进行相关性分析；S6：将实验室OMM测试数据及AIM测试数据进行相关性分析；S7：观察实验室OMM测量数据与在线光耦AIM数据比对差异，并计算OMM测量数据和在线光耦AIM数据之间的偏差；S8：将OMM测量数据和在线光耦AIM数据之间的偏差作为判断Pin脚平面度相关性是否合格的判断标准，并根据两个设备之间的数据差异可调整AIM在线光耦测量设备中相应的载物板的高度、测量位置以及补偿值，使AIM在线光耦测量设备测得的值趋近标准值，进而再使用AIM在线光耦测量设备检测量产的屏蔽罩（5）的Pin脚平面度。

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