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申请/专利权人：ASML控股股份有限公司
摘要：一种系统包括辐射源、第一相控阵列和第二相控阵列以及检测器。第一相控阵列和第二相控阵列包括光学元件、多个端口、波导和相位调制器。光学元件辐射辐射波。波导将辐射从多个端口中的一个端口引导到光学元件。相位调制器调整辐射波的相位。第一相控阵列和第二相控阵列中的一者或两者基于被耦合到辐射源的端口来形成被引导朝向目标结构的第一辐射束和或第二辐射束。检测器接收由目标结构散射的辐射并且基于接收到的辐射来生成测量信号。
主权项：1.一种系统，包括：辐射源；第一相控阵列和第二相控阵列，包括：光学元件，被配置为辐射辐射波；多个端口；波导，被配置为将辐射从所述多个端口中的一个端口引导到所述光学元件；以及相位调制器，被配置为调整所述辐射波的相位，其中所述第一相控阵列和所述第二相控阵列中的一者或两者分别被配置为：基于被耦合到所述辐射源的所述端口，形成被引导朝向目标结构的辐射的第一射束和或第二射束；以及检测器，被配置为：接收由所述目标结构散射的辐射，并且基于接收到的所述辐射来生成测量信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML控股股份有限公司 量测系统和相控阵列照射源
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