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申请/专利权人：先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要：本实用新型涉及平面靶材技术领域，公开了一种ITO平面靶材冷等静压装载工装，包括固定架、用于固定靶材的放置框、用于驱动放置框转动的驱动模块；所述放置框的两侧设有转轴；所述放置框通过转轴与固定架转动连接；所述驱动模块的动力输出端与转轴固定连接；所述放置框的顶部和底部均设有用于防止靶材脱离放置框的限位板；所述放置框的两侧设有多个可转动的支撑杆。本装载工装可以实现靶材水平放置再竖直成型，同时，保证放置框在水平放置时不会发生转动，提高生产效率。
主权项：1.一种ITO平面靶材冷等静压装载工装，其特征在于，包括固定架、用于固定靶材的放置框、用于驱动放置框转动的驱动模块；所述放置框的两侧设有转轴；所述放置框通过转轴与固定架转动连接；所述驱动模块的动力输出端与转轴固定连接；所述放置框的顶部和底部均设有用于防止靶材脱离放置框的限位板；所述放置框的两侧设有多个可转动的支撑杆；当放置框转动至与地面平行时，所述多个支撑杆配合以使放置框能够保持与地面平行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种ITO平面靶材冷等静压装载工装
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