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一种硅片入篮位置的确定方法、设备及插片系统 

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申请/专利权人:隆基绿能科技股份有限公司

摘要:本发明公开一种硅片入篮位置的确定方法、设备及插片系统,涉及硅片技术领域,以解决在硅片进入花篮时,位置不准,容易产生棱面破损、碎片、卡片等品质异常,从而影响硅片的成品率的问题。所述硅片入篮位置的确定方法包括:在插片机的底座上安装花篮。当花篮的最上层齿槽位于花篮的底部时,利用标准硅片,调整花篮的最上层齿槽的下端面位置至第一位置。当花篮的最下层齿槽位于花篮的底部时,利用标准硅片,调整花篮的最下层齿槽的下端面位置,以调整花篮的最上层齿槽的下端面位置至第二位置。基于第一位置、第二位置以及花篮的齿槽数,确定硅片入篮前,每层齿槽的位置。

主权项:1.一种硅片入篮位置的确定方法,应用于插片系统,所述插片系统包括插片机和花篮,所述花篮设置在所述插片机上,所述插片机用于将硅片插装于所述花篮内,其特征在于,所述硅片入篮位置的确定方法包括:在所述插片机的底座上安装所述花篮,其中,所述花篮的中心位置与所述底座的中心位置重合;当所述花篮的最上层齿槽位于所述花篮的底部时,利用标准硅片,调整所述花篮的最上层齿槽的下端面位置至第一位置;其中,所述第一位置为所述花篮的最上层齿槽的下端面与所述插片机的入篮传送板位于同一平面;当所述花篮的最下层齿槽位于所述花篮的底部时,利用所述标准硅片,调整所述花篮的最下层齿槽的下端面位置,以调整所述花篮的最上层齿槽的下端面位置至第二位置;其中,当所述花篮的最上层齿槽的下端面位置至第二位置时,所述花篮的最下层齿槽的下端面与所述插片机的入篮传送板位于同一平面;基于所述第一位置、所述第二位置以及所述花篮的齿槽数,确定所述硅片入篮前,每层齿槽的位置。

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