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申请/专利权人：东莞市安动半导体科技有限公司

摘要：本发明公开了一种芯片自动移盘装置及其移盘方法，包括工作台，所述工作台的前部固装有工控机主体，所述工作台的上部后方固装有X轴主体，所述X轴主体的前部两侧分别设有Z1轴组件和Z2轴组件，所述工作台的上部一侧固装有Y1轴驱动组件，所述Y1轴驱动组件的上部设置有一号载盘托架，所述工作台的上部另一侧固装有Y2轴驱动组件，所述Y2轴驱动组件的上部设置有二号载盘托架，所述工作台的上部固装有一号下CCD定位系统和二号下CCD定位系统。本发明可在CCD定位系统定位下通过Z1轴组件和Z2轴组件自动定位移盘，结构设计减少工序移动路径，有利于提高摆放的准确性，且能够提高加工效率，同时设备结构设计合理，结构紧凑。

主权项：1.一种芯片自动移盘装置，包括工作台（1），其特征在于，所述工作台（1）的前部固装有工控机主体（2），所述工作台（1）的一侧活动安装有操作系统（16），所述工作台（1）的上部后方固装有X轴主体（3），所述X轴主体（3）的前部两侧分别设有可沿X轴方向独立活动的Z1轴组件（4）和Z2轴组件（5），所述工作台（1）的上部一侧固装有Y1轴驱动组件（8），所述Y1轴驱动组件（8）的上部设置有可由Y1轴驱动组件（8）驱动沿Y轴方向活动的一号载盘托架（7），所述工作台（1）的上部另一侧固装有Y2轴驱动组件（10），所述Y2轴驱动组件（10）的上部设置有可由Y2轴驱动组件（10）驱动沿Y轴方向活动的二号载盘托架（9），所述工作台（1）的上部固装有一号下CCD定位系统（6），所述工作台（1）的上部固装有二号下CCD定位系统（11），所述Z1轴组件（4）包括Z1轴CCD定位系统（43），所述Z2轴组件（5）包括Z2轴CCD定位系统（53）；所述一号下CCD定位系统（6）位于一号载盘托架（7）的一侧，将装有芯片的满载料盘放置在一号载盘托架（7）上，一号载盘托架（7）由Y1轴驱动组件（8）输送到Z1轴组件（4）下方，所述二号下CCD定位系统（11）位于二号载盘托架（9）的一侧，将空载料盘放置在二号载盘托架（9）上，二号载盘托架（9）由Y2轴驱动组件（10）输送到Z2轴组件（5）下方；所述Z1轴组件（4）还包括安装于X轴主体（3）前部一侧的一号机体（41）、设置于一号机体（41）下部一侧的Z1轴吸头（42），所述Z1轴CCD定位系统（43）设置于一号机体（41）下部另一侧，Z1轴CCD定位系统（43）对一号载盘托架（7）上待取出的芯片H1进行拍照定位，所述Z1轴吸头（42）的上端设有控制Z1轴吸头（42）旋转的一号旋转驱动件（44）；所述Z2轴组件（5）还包括安装于X轴主体（3）前部另一侧的二号机体（51）、设置于二号机体（51）下部一侧的Z2轴吸头（52），所述Z2轴CCD定位系统（53）设置于二号机体（51）下部另一侧，Z2轴CCD定位系统（53）对空载料盘上的芯片放置槽位进行拍照定位，所述Z2轴吸头（52）的上端设有控制Z2轴吸头（52）旋转的二号旋转驱动件（54）。

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