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申请/专利权人：纽富来科技股份有限公司
摘要：本发明的一个方式的图案检查装置，其特征在于，具备：光学图像取得机构，取得形成有图案的被检查基板的多个区域的光学图像；多个比较电路，进行比较处理，在该比较处理中对光学图像和与光学图像对应的参照图像进行比较；异常判定电路，基于多个比较电路中的比较结果，从多个区域中判定检查异常的区域的有无；故障诊断电路，诊断已实施了多个区域中与其他区域不同并被判定为检查异常的区域的比较处理的比较电路的故障的有无；以及分配处理电路，对多个比较电路中未被诊断为故障的比较电路分配进行比较处理的区域，并且将被诊断为故障的比较电路从区域的分配对象中排除。
主权项：1.一种图案检查装置，其特征在于，具备：光学图像取得机构，取得形成有图案的被检查基板的多个区域的光学图像；多个比较电路，进行比较处理，在该比较处理中对所述光学图像和与所述光学图像对应的参照图像进行比较；异常判定电路，基于所述多个比较电路中的比较结果，从所述多个区域中判定检查异常的区域的有无；故障诊断电路，诊断已实施了所述多个区域中与其他区域不同并被判定为检查异常的区域的比较处理的比较电路的故障的有无；以及分配处理电路，对所述多个比较电路中未被诊断为故障的比较电路分配进行比较处理的区域，并且将被诊断为故障的比较电路从区域的分配对象中排除。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 纽富来科技股份有限公司 图案检查装置及图案检查方法
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