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局部电镀装置 

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申请/专利权人:欧姆龙株式会社

摘要:本发明提供一种局部电镀装置,其能够仅对被镀物的一面实施局部电镀。局部电镀装置30具备:在内部具有电解液循环路径的电解液循环结构体31和输送被镀物P的被镀物输送结构体32。电解液循环路径在电解液扩散路径314和电解液收缩路径315之间具有向电解液循环结构体31的外部开放的狭缝状的窗口部317。被镀物输送结构体32一边使被镀物P的一面的区域a1与窗口部317相对,一边沿着窗口部317输送被镀物P。

主权项:1.一种局部电镀装置,仅对被镀物的一部分部位实施电镀,其特征在于,具有:电解液循环部,其在内部具有电解液循环路径;被镀物输送部,其输送所述被镀物,所述电解液循环路径在其一部分具有向所述电解液循环部的外部开放的狭缝状的窗口部,所述电解液循环路径由电解液导入路径、电解液扩散路径、电解液收缩路径以及电解液排出路径构成,所述被镀物输送部能够一边使所述被镀物的一面的电镀区域与所述窗口部相对,一边沿所述窗口部输送所述被镀物。

全文数据:

权利要求:

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