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申请/专利权人：罗门哈斯电子材料有限责任公司

摘要：公开了一种包含以下的聚合物：第一重复单元，其衍生自包含羟基‑芳基的单体；第二重复单元，其衍生自包含用缩醛或缩酮基团保护的羟基‑芳基的单体；第三重复单元，其衍生自包含脂环族基团的甲基丙烯酸酯单体；以及第四重复单元，其衍生自包含酸敏感基团的单体，其中所述第一重复单元、所述第二重复单元、所述第三重复单元以及所述第四重复单元彼此不同。

主权项：1.一种聚合物，其包含：第一重复单元，其包含羟基-芳基的单体；第二重复单元，其衍生自包含用缩醛或缩酮基团保护的羟基-芳基的单体；第三重复单元，其衍生自包含脂环族基团的甲基丙烯酸酯单体；以及第四重复单元，其衍生自包含酸敏感基团的单体，其中所述第一重复单元、所述第二重复单元、所述第三重复单元以及所述第四重复单元彼此不同，以及其中，所述第三重复单元衍生自具有式3的单体： 其中，Rc是氢、氟、取代或未取代的C1-5烷基、或取代或未取代的C1-5氟烷基，R4是单环或多环的C3-30环烷基，其是未取代的或取代的，前提是R4不包括直接键合至羧酸酯基团的二价氧原子的叔碳原子，以及其中，所述第一重复单是式1；所述第二重复单元衍生自具有式2的单体；并且所述第四重复单元衍生自具有式4a或4b的单体： 其中，在式1’、2、4a和4b中，Ra、Rb和Rd各自独立地是氢、氟、取代或未取代的C1-5烷基、或取代或未取代的C1-5氟烷基；R1、R2和R8各自独立地是氢、直链或支链的C1-20烷基、直链或支链的C1-20杂烷基、单环或多环的C3-20环烷基、单环或多环的C3-20杂环烷基、单环或多环的C6-20芳基、C7-20芳氧基烷基、或单环或多环的C4-20杂芳基，其中的每一个是取代或未取代的；并且任选地，R1、R2和R8中的任何两个一起形成单环，或R1、R2和R8一起形成多环；R3是取代或未取代的直链或支链的C1-20烷基、取代或未取代的单环或多环的C3-20环烷基、取代或未取代的单环或多环的C3-20杂环烷基、取代或未取代的C6-14芳基、取代或未取代的C3-14杂芳基、取代或未取代的C7-18芳基烷基、取代或未取代的C4-18杂芳基烷基、或取代或未取代的C1-12杂烷基；R9是氢、取代或未取代的直链或支链的C1-20烷基、取代或未取代的单环或多环的C3-20环烷基、取代或未取代的单环或多环的C3-20杂环烷基、取代或未取代的C6-14芳基、取代或未取代的C3-14杂芳基、取代或未取代的C7-18芳基烷基、取代或未取代的C4-18杂芳基烷基、或取代或未取代的C1-12杂烷基；任选地，R1、R2或R8之一和R3或R9之一一起形成环；L是包含至少一个碳原子和至少一个杂原子的连接单元；R5、R6和R7各自独立地是直链或支链的C1-20烷基、单环或多环的C3-20环烷基、单环或多环的C3-20杂环烷基、直链或支链的C2-20烯基、单环或多环的C3-20环烯基、单环或多环的C3-20杂环烯基、单环或多环的C6-20芳基、或单环或多环的C4-20杂芳基，其中的每一个是取代或未取代的，并且R5、R6和R7中的任何两个任选地一起形成环；每个A独立地是卤素、羟基、羧酸或酯、巯基、直链或支链的C1-20烷基、单环或多环的C3-20环烷基、单环或多环的C3-20氟环烯基、单环或多环的C3-20杂环烷基、单环或多环的C6-20芳基、或单环或多环的C4-20杂芳基，其中的每一个是取代或未取代的；并且每个m独立地是0至4的整数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 罗门哈斯电子材料有限责任公司 聚合物及光致抗蚀剂组合物