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申请/专利权人：天津大学

摘要：本发明公开了一种高分辨力一维测角激光传感器，包括激光器、缩束器、第一衰减片、针孔滤波器、偏振分光镜、四分之一波片、待测面、分光镜、第二衰减片、第一三次反射棱镜、第二三次反射棱镜、第一光电二极管、第二光电二极管和第三光电二极管；偏振分光镜将激光光束分为s光和p光，p光被第一光电二极管接收，s光经四分之一波片后在待测面反射后经四分之一波片后变为p光，经四分之一波片处理后的p光透过偏振分光镜后进入分光镜并被其分为透射光和反射光；透射光经第二衰减片后进入第一三次反射棱镜，经三次反射后被第二光电二极管接收；反射光进入第二三次反射棱镜，经三次反射后被第三光电二极管接收。本发明可实现小角度的高分辨力检测。

主权项：1.一种高分辨力一维测角激光传感器，其特征在于，包括：激光器1；缩束器2，用于调整所述激光器1发射的激光光束的直径；第一衰减片3，用于调整经所述缩束器2后的激光光束的光强；针孔滤波器4，用于过滤经所述第一衰减片3后的激光光束；偏振分光镜5，用于将经所述针孔滤波器4后的激光光束分为s光和p光，其中，p光透射，s光反射；第一光电二极管14，用于接收偏振分光镜5的透射光p光，对激光光源的漂移和波动检测，对测量结果进行补偿；四分之一波片6，用于将所述s光变为椭圆偏振光；待测面7，所述椭圆偏振光在所述待测面7反射形成反射光，所述反射光经过所述四分之一波片6后变为p光；第一分光镜8，经所述四分之一波片6处理后的所述p光透过所述偏振分光镜5后进入所述第一分光镜8并被所述第一分光镜8分为透射光和反射光；第二衰减片9，用于调整所述透射光的光强；第一三次反射棱镜10，用于对经所述第二衰减片9后的所述透射光进行三次反射；第二光电二极管13，用于接收经所述第一三次反射棱镜10后的所述透射光；第二三次反射棱镜11，用于对所述反射光进行三次反射；以及，第三光电二极管12，用于接收经所述第二三次反射棱镜11后的所述反射光；其中，所述第一光电二极管14、第二光电二极管13和第三光电二极管12为同型号硅光二极管，所述第一光电二极管14、第二光电二极管13和第三光电二极管12的感光尺寸满足角度测量过程中光斑的移动在感光面内，其中，所述第一光电二极管14的感光面正对经所述偏振分光镜5后得到的所述p光，所述第二光电二极管13的感光面与所述第一三次反射棱镜10的出射面平行，所述第三光电二极管12的感光面与所述第二三次反射棱镜11的出射面平行。

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