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申请/专利权人：复纳科学仪器(上海)有限公司

摘要：本发明公开了一种适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，由密封腔、阀门机构、动力机构和承载托架组成，密封腔包括固定底板、转移装置腔体、密封条、密封盖板，阀门机构用于对密封腔抽真空，动力机构用于开闭密封盖板，固定底板与密封盖板之间设有导柱，承载托架上设有样品钉放置孔，并水平安装在密封盖板后侧面的上部，承载托架的上表面与转移装置腔体的内壁顶部之间仅存在细微的间距。本发明体积小巧，结构简单，真空密封性好，可靠度高，非常适用于狭小空间的小型化扫描电镜，可以在保证低成本的同时，完成空气敏感类样品在手套箱和小型扫描电镜之间的真空密封转移，从而解决了小型化扫描电镜观测空气敏感类样品的真空转移问题。

主权项：1.一种适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，其特征在于：由用于封锁待测样品的密封腔、用于对密封腔进行抽真空的阀门机构、用于开启或关闭密封腔的动力机构和用于承载扫描电镜样品钉的承载托架（2）组成；所述密封腔包括一个由固定底板（10）和转移装置腔体（5）一体铣制的结构整体，所述转移装置腔体（5）位于所述固定底板（10）的前侧面，且所述转移装置腔体（5）的前部为敞口，所述转移装置腔体（5）的敞口边缘的前侧面上设置有一圈密封条（3），所述转移装置腔体（5）的敞口上设置有一块可开合的密封盖板（1），且当所述密封盖板（1）盖紧在所述转移装置腔体（5）的敞口上时，所述密封盖板（1）的后侧面与所述密封条（3）紧密贴合；所述阀门机构包括一个针阀（6），所述针阀（6）安装在所述固定底板（10）的后侧面，且所述针阀（6）的一端与穿过所述固定底板（10）后与所述转移装置腔体（5）连通；所述动力机构包括用于控制所述密封盖板（1）开合的传动部分以及用于带动所述传动部分运动的驱动部分，所述驱动部分与所述固定底板（10）连接，所述传动部分与所述密封盖板（1）连接；所述承载托架（2）水平安装在所述密封盖板（1）后侧面的上部，所述承载托架（2）上设置有用于承托小型扫描电镜所用的标准半英寸钉式样品台的样品钉放置孔（11），当所述密封盖板（1）打开时，所述承载托架（2）完全伸出所述转移装置腔体（5），当所述密封盖板（1）盖合时，所述承载托架（2）完全位于所述转移装置腔体（5）内，且所述承载托架（2）的上表面与所述转移装置腔体（5）的内壁顶部之间仅存在细微的间距；所述固定底板（10）和所述转移装置腔体（5）采用铸造铝合金材料并一体铣制成一个结构整体，且所述固定底板（10）和所述转移装置腔体（5）的壁厚均不小于4mm；所述密封条（3）为特氟龙材质的O型密封圈。

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