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申请/专利权人：锦文测控科技(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种用于扫描电镜的单面温控台，属于温控台技术领域，其包括：冷热模块，用于加热制冷达到对表面样品的热传导；制冷通道，用于对冷热模块进行制冷，所述制冷通道的一端连接于所述冷热模块的外侧；制热模块，用于对冷热模块进行制热，所述制热模块包括制热线、导热板和两个电极片，所述制热线与两个电极片电性连接，且所述电极片固定安装在所述导热板的外侧；安装座，用于固定所述冷热模块，所述冷热模块设置于所述安装座的内部，且所述安装座的底部固定安装有支撑底座。本发明通过设置的制冷通道和制热模块实现对冷热模块的精准温度控制，保证了实验结构稳定性，且适用于高真空环境使用。
主权项：1.一种用于扫描电镜的单面温控台，其特征在于，包括：冷热模块1，用于加热制冷达到对表面样品的热传导；制冷通道3，用于对冷热模块1进行制冷，所述制冷通道3的一端连接于所述冷热模块1的外侧；制热模块，用于对冷热模块1进行制热，所述制热模块包括制热线、导热板11和两个电极片9，所述制热线与两个电极片9电性连接，且所述电极片9固定安装在所述导热板11的外侧；安装座2，用于固定所述冷热模块1，所述冷热模块1设置于所述安装座2的内部，且所述安装座2的底部固定安装有支撑底座5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 锦文测控科技(苏州)有限公司 一种用于扫描电镜的单面温控台
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