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用于激光散斑减少的超表面 

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申请/专利权人:梅特兰兹股份有限公司

摘要:一种装置,当用相干光照射物体时,该装置依赖于图案化超表面来减少散斑。超表面用于增加从由相干源照射而产生的角分集和波长分集中的一个或更多个。

主权项:1.一种包括用于照射物体的照明系统的装置,所述照明系统包括:具有相干长度的照明源;耦合器;以及光条,包括多个图案化超表面,其中每个图案化超表面限定与所述光条的表面上的相邻衍射部位间隔开的衍射部位,并且其中所述衍射部位彼此之间间隔的距离大于所述照明源的相干长度,其中所述耦合器将来自所述照明源的光耦合到所述光条中,其中在经历了所述光条内的全内反射之后,所述光通过衍射部位中的每个衍射部位离开所述光条并朝着所述物体行进,其中光条被配置为使得来自所述照明源的光在沿着所述图案化超表面的多个衍射部位处形成非相干复制图像。

全文数据:

权利要求:

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