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具有阶梯式慢轴准直器的激光系统 

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申请/专利权人:松下知识产权经营株式会社

摘要:在各种实施例中,激光系统的非波长光束组合维度的指向误差通过阶梯式准直透镜至少部分地降低。

主权项:1.一种激光系统,包括:多个光束发射器,每个光束发射器发射一个或多个光束;色散元件,用于接收光束并在波长光束组合WBC维度将光束组合成多波长光束;多个准直器,设置在光束发射器的光学的下游和色散元件的光学的上游,其中每个准直器从光束发射器接收一个或多个光束并在非WBC维度准直所述一个或多个光束;多个交错反射镜,设置在光束发射器的光学的下游和色散元件的光学的上游,其中每个交错反射镜将来自光束发射器的一个或多个光束朝向色散元件反射;以及部分反射输出耦合器,用于接收来自色散元件的多波长光束、透射多波长光束的第一部分作为输出光束,并将多波长光束的第二部分朝向色散元件反射回去,其中:色散元件在非WBC维度以非零角度倾斜,使得来自色散元件的光束的第一阶反射指向远离光束发射器的方向,从而将指向误差引入多波长光束,交错反射镜中的一个或多个在非WBC维度以非零角度倾斜,以降低多波长光束的指向误差,从而在非WBC维度在色散元件处将光束拖影引入,以及准直器中的两个或多个的光轴在非WBC维度彼此偏移,从而降低由倾斜的交错反射镜引起的光束拖影;其中,WBC维度对应于光束的快轴,非WBC维度对应于光束的慢轴,或者,WBC维度对应于光束的慢轴,非WBC维度对应于光束的快轴。

全文数据:

权利要求:

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