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具有场电极的功率半导体器件 

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申请/专利权人:英飞凌科技奥地利有限公司

摘要:一种功率半导体器件包括:半导体主体,被配置成在功率半导体器件的第一负载端子和第二负载端子之间传导负载电流;源极区、沟道区和漂移体积,均被包括在半导体主体中,源极区被电连接至第一负载端子并且沟道区使源极区与漂移体积隔离;半导体区域,被包括在半导体主体中并且将漂移体积耦合至第二负载端子,在半导体区域和漂移体积之间建立第一过渡;控制电极,与半导体主体和负载端子中的每一个都绝缘并且被配置成控制沟道区中的负载电流的路径;以及沟槽,沿着延伸方向延伸到漂移体积中并且包括场电极。场电极的欧姆电阻大于控制电极的欧姆电阻。进一步地,场电极和第一过渡之间的距离占漂移体积在延伸方向上的总延伸的至少70%。

主权项:1.一种功率半导体器件,包括:半导体主体,被配置成在功率半导体器件的第一负载端子和第二负载端子之间传导负载电流;源极区、沟道区和漂移体积,均被包括在半导体主体中,源极区被电连接至第一负载端子并且所述沟道区使源极区与漂移体积隔离;半导体区域,被包括在半导体主体中并且将漂移体积耦合至第二负载端子,在所述半导体区域和所述漂移体积之间建立第一过渡;控制电极,与半导体主体和负载端子中的每一个都绝缘并且被配置成控制沟道区中的负载电流的路径;以及沟槽,沿着延伸方向延伸到漂移体积中并且包括场电极,其中在平行于所述延伸方向的平面中,所述场电极的横截面面积小于所述控制电极的横截面面积,其中所述场电极的欧姆电阻大于所述控制电极的欧姆电阻。

全文数据:

权利要求:

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