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申请/专利权人：大连海事大学
摘要：本发明提供一种基于坡莫合金芯的多通道高精度油液检测传感器及其制作方法。本发明传感器，包括：微流体检测芯片和激励单元，微流体检测芯片，包括芯片主体、多个微流道和电感检测单元，电感检测单元包括螺线管线圈和坡莫合金芯；多个微流道分别依次围绕坡莫合金芯设置，使得坡莫合金芯的外壁紧贴每个微流道的侧壁；多个微流道从螺线管线圈的内孔穿过，且每个与螺线管线圈接触的接触面均与螺线管线圈紧密贴合；每个微流道的两端均设置有开口，两端的开口分别汇集连接两个开口端，分别作为微流道入口和油槽出口。激励单元通过绝缘导线连接电感检测单元；本发明传感器实现对油液中铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒的高精度和高吞吐量的区分检测。
主权项：1.一种基于坡莫合金芯的多通道高精度油液检测传感器，其特征在于，包括：微流体检测芯片和激励单元，其中：所述微流体检测芯片，包括设置在PDMS胶基底1上的芯片主体、设置在芯片主体上的多个微流道3和电感检测单元，其中：电感检测单元，包括螺线管线圈4和坡莫合金芯5；多个微流道3分别依次围绕坡莫合金芯5设置，使得坡莫合金芯5的外壁紧贴每个微流道3的侧壁；多个微流道3从螺线管线圈4的内孔穿过，且每个与螺线管线圈4接触的接触面均与螺线管线圈4紧密贴合；每个微流道3的两端均设置有开口，两端的开口分别汇集连接两个开口端，分别作为微流道入口2和油槽出口6。所述激励单元，通过绝缘导线连接电感检测单元；当带有金属颗粒的油液由微流道3经过检测区域时，电感检测单元进行电感检测，激励单元给螺线管线圈4既定的电压和频率的交流电激励，检测螺线管线圈4的电感变化，采集螺线管线圈4的电感信号，实现对油液中铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒的高精度和高吞吐量的区分检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大连海事大学 一种基于坡莫合金芯的多通道高精度油液检测传感器及其制作方法
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