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申请/专利权人：南开大学
摘要：本申请公开一种原子力显微镜的扫描方法、装置以及存储介质，应用于高速原子力显微镜扫描领域，包括：确定原子力显微镜的目标扫描曲线的横轴曲线轨迹以及纵轴曲线轨迹，然后将横轴曲线轨迹以及纵轴曲线轨迹进行叠加，获得横轴与纵轴采样密度一致的目标扫描曲线，根据预设的目标扫描曲线的扫描周期以及预设的目标扫描曲线的扫描频率的乘积确定目标扫描曲线的扫描时间，最后根据目标扫描曲线以及扫描时间向原子力显微镜输出驱动信号，以使原子力显微镜按照目标扫描曲线以及扫描时间进行扫描。这样，目标扫描曲线的横轴与纵轴采样密度一致，进而可以避免造成采集的图像畸变以及重建难度的问题，并且目标扫描曲线不需重复扫描，也就提升了数据利用率。
主权项：1.一种原子力显微镜的扫描方法，其特征在于，包括：确定所述原子力显微镜的目标扫描曲线的横轴曲线轨迹以及纵轴曲线轨迹，所述横轴曲线轨迹以及所述纵轴曲线轨迹均为三角形且频率不同；将所述横轴曲线轨迹以及所述纵轴曲线轨迹进行叠加，获得所述目标扫描曲线，所述目标扫描曲线横轴与纵轴采样密度一致；根据预设的目标扫描曲线的扫描周期以及预设的目标扫描曲线的扫描频率的乘积确定所述目标扫描曲线的扫描时间；根据所述目标扫描曲线以及所述扫描时间向所述原子力显微镜输出驱动信号，以使所述原子力显微镜按照所述目标扫描曲线以及所述扫描时间进行扫描。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南开大学 一种原子力显微镜的扫描方法、装置以及存储介质
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