买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：正奇光能科技有限公司

摘要：本发明公开了经高温湿氧氧化法制备高效率长寿命N型TOPCon电池的工艺，属于N型TOPCon电池制备领域；包括对低压管式扩散氧化炉的气路改造；低温常压进舟；抽真空到设定压力；稳压，干氧处理，湿氧处理和持续氧化；降温吸杂；升温氧化；降温后恒温冲氮气升压；常压开炉门出舟；本发明实现了小流量的氮气量结合湿氧，使得水以蒸汽形态进入炉管参与反应生成一层致密氧化层。水蒸汽相比干氧有较高的蒸气压，可提供热能，因此氧化步设定温度可适当降低，且反应速度更快，沉积的氧化层致密性更高。从而降低了高温扩散温度和高温氧化时间，也延长了石英炉管的使用寿命，达到降本降耗的同时提升电池片效率。

主权项：1.经高温湿氧氧化法制备高效率长寿命N型TOPCon电池的工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、对低压管式扩散氧化炉的气路改造：增设氮气管路并外接纯水瓶作为反应源；步骤2、低温常压进舟：将经历制绒工序、硼扩工序、硼扩面激光SE工序后的硅片背靠背插入石英舟内，设定炉管温度为780～800℃，常压状态，通入大流量的氮气量5000～10000mlmin；打开炉门，将石英舟送入到扩散管内，时间设置300～500秒；进舟结束，关闭炉门；步骤3、抽真空到设定压力：将常压抽到预设的200～800mbar的低压状态，时间120～300秒；检漏；步骤4、稳压：压力稳定在800mbar，温度上升至800～980℃间；干氧处理：通入氮气量600～1000sccm，干氧量15000～20000sccm，吹扫氧化300～600秒；湿氧处理：通入湿氧量为800～900sccm，即氮气、水和氧气；时间设置2000～2200秒；氧化最高温度控制在1020℃，持续氧化反应；步骤5、升温氧化：持续通入大氮气量600sccm，大流量氧气量17000sccm，时间设定300秒；步骤6、降温吸杂：步骤4的氧化步结束后，降温处理，将温度设定到800～890℃，持续通入大流量的氮气量600～1000sccm，干氧量为15000～20000sccm，降温吹扫2100～2200秒；步骤7、降温后恒温冲氮气升压：通入大流量的氮气量10000～20000sccm，时间100～300秒，温度设定在780～800℃间；步骤8、常压开炉门出舟：设定炉管温度为780～800℃，常压状态，通入大流量的氮气量5000～20000sccm，将石英舟拉出到扩散管，时间500～600秒，取出炉管中的硅片，工艺结束。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 正奇光能科技有限公司 经高温湿氧氧化法制备高效率长寿命N型TOPCon电池的工艺