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申请/专利权人：宝鸡嘉琦金属有限公司
摘要：本发明公开了一种在铁镍合金复合材料基底上磁控溅射金属钌的方法。本发明首次在铁镍合金复合材料基底上沉积金属钌，通过优化溅射参数，如溅射温度、功率、气压和时间等，实现对钌层厚度的精确控制。该方法可用于结合度好、均匀性高、厚度易控制的钌层金属的溅射，其工艺简单、溅射过程短、溅射条件易于控制，且溅射的钌层金属致密性好、纯度高、性能稳定，对于推进铁镍合金复合材料在催化和电子领域的应用具有重要意义。
主权项：1.一种在铁镍合金复合材料基底上磁控溅射金属钌的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1将铁镍合金基片分别用去离子水和无水乙醇超声清洗干净，干燥，然后插至铜制底座上并放入磁控溅射设备腔体内的转盘上；2将需要溅射的金属钌安置在靶材座上，采用Ar气作为离化气体，接通转盘电源，关闭腔门；3磁控溅射在400～450℃下进行，本底真空度为5*10-4～5*10-5Torr，Ar气工作气压为8～12mTorr，使用直流电源，溅射功率为80-120W。
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权利要求：
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