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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种方法包括以下步骤：接收第一数据，该第一数据指示一种类型的制造腔室部件的品质参数的值的范围。该值的范围中的每个值满足一个或多个阈值准则。该方法进一步包括以下步骤：向制造腔室的基于物理的模型提供该第一数据。该方法进一步包括以下步骤：从该基于物理的模型接收第二数据，该第二数据指示该品质参数的值与该制造腔室中的预测条件之间的关系。该方法进一步包括以下步骤：基于该品质参数的值与该些预测条件之间的该关系，确定是否要将该制造腔室部件类型的新的制造腔室部件安装在该制造腔室中。
主权项：1.一种方法，包括以下步骤：接收第一数据，所述第一数据指示第一制造腔室部件类型的第一品质参数的值的第一范围，所述值的第一范围中的每个值满足一个或多个第一阈值准则；向制造腔室的基于物理的模型提供所述第一数据；从所述基于物理的模型接收第二数据，所述第二数据指示所述第一品质参数的值与所述制造腔室中的第一预测条件之间的关系；以及基于所述第一品质参数的值与第一经预测条件之间的所述关系，确定是否要将所述第一制造腔室部件类型的第一制造腔室部件安装在所述制造腔室中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 制造装备零件品质管理系统
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