龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东京应化工业株式会社
摘要：一种抗蚀剂组合物，其含有树脂A、产酸剂B、以及交联剂C，所述树脂A为波长248nm的摩尔吸光系数为2000mol‑1·L·cm‑1以下的碱可溶性树脂，交联剂C为从由三聚氰胺类交联剂、尿素类交联剂、亚烷基尿素类交联剂、甘脲类交联剂及环氧类交联剂构成的组中选择的至少1种交联剂。
主权项：1.一种抗蚀剂组合物，其特征在于，含有树脂A、产酸剂B、以及交联剂C，所述树脂A为波长248nm的摩尔吸光系数为2000mol-1·L·cm-1以下的碱可溶性树脂，所述交联剂C为从由三聚氰胺类交联剂、尿素类交联剂、亚烷基尿素类交联剂、甘脲类交联剂及环氧类交联剂构成的组中选择的至少1种交联剂。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京应化工业株式会社 抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号