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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：本发明涉及一种离子注入剂量均匀度测试装置，属于半导体离子注入技术领域，解决了现有技术中、通过通道切换实现多路采集不方便的问题。该装置包括：探测器、信号调理电路和上位机处理器；探测器，包括多组法拉第杯，每组法拉第杯包括若干个法拉第杯；信号调理电路，包括多路信号调理支路，每路信号调理支路对应一组法拉第杯，用于采集法拉第杯输出的电流信号，并对电流信号进行滤波放大调理后输出至上位机处理器；上位机处理器，根据接收的法拉第杯的电流信号得到离子注入剂量均匀度。实现了分组测量，多通道并行和时序采集相结合的采集方法，提高测量效率和更准确的测量准确度。
主权项：1.一种离子注入剂量均匀度测试装置，其特征在于，该装置包括：探测器、信号调理电路和上位机处理器；所述探测器，包括多组法拉第杯，每组法拉第杯包括若干个法拉第杯；所述信号调理电路，包括多路信号调理支路，每路信号调理支路对应一组法拉第杯，用于采集法拉第杯输出的电流信号，并对电流信号进行滤波放大调理后输出至上位机处理器；所述上位机处理器，根据接收的法拉第杯的电流信号得到离子注入剂量均匀度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种离子注入剂量均匀度测试装置
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