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一种研磨盘的刀具位置调节装置及位置调节方法 

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申请/专利权人:湖南中豪微纳科技有限责任公司

摘要:一种研磨盘的刀具位置调节装置及位置调节方法,包括刀架座、导向机构、粗调机构和微调机构,刀具设置在刀架座上,刀架座固定连接在导向机构上,导向机构的一侧设置有粗调机构,导向机构的另一侧设置有微调机构,能依次用粗调机构和微调机构调节刀具的位置。通过设置两端都能调节刀具位置的装置放在上、下研磨盘之间,对上、下研磨盘同时进行修整。能省去传统修整后,上、下研磨盘拆装和调试的时间,大幅度节约修整时长,提高修整精度,从而提高元件的研磨抛光精度。

主权项:1.一种研磨盘的刀具位置调节装置,其特征在于,包括刀架座、导向机构、粗调机构和微调机构,刀具设置在刀架座上,刀架座固定连接在导向机构上,导向机构的一侧设置有粗调机构,导向机构的另一侧设置有微调机构,能依次用粗调机构和微调机构调节刀具的位置。

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