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申请/专利权人：连科半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于碳化硅晶体生长结束后开石墨坩埚盖子的装置，包括工作台，其特征在于，工作台上装有三根立柱，且三根立柱上部和下部各装有一个居中型六脚抱箍，上部的六脚抱箍旁的三根立柱上安装有3个弹簧，抱箍上顶面固定有大齿轮，大齿轮与小齿轮相连，小齿轮与电动马达相连。通过启动电机，带动小齿轮旋转，小齿轮带动大齿轮旋转，进而促使石墨坩埚盖旋转打开。
主权项：1.一种用于碳化硅晶体生长石墨坩埚盖子打开的装置，包括工作台1，其特征在于，所述工作台1上安装有三根立柱2，三根立柱2之间上端装有上六脚抱箍6和下端装有下六脚抱箍9，上六脚抱箍6上顶面连接大齿轮5，大齿轮5与小齿轮3相连，小齿轮3与顶部放置的电机马达4相连，三根立柱2上端装有三个弹簧7。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 连科半导体有限公司 一种用于碳化硅晶体生长石墨坩埚盖子打开的装置
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