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一种切割刀片背面刮痕处理装置 

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申请/专利权人:江苏汇成光电有限公司

摘要:本发明公开了半导体加工领域内的一种切割刀片背面刮痕处理装置,包括水平设置的矩形工作台,工作台下侧设置有若干竖直的支撑腿,工作台上竖直贯穿开设有加工槽,加工槽下方设置有与支撑架,支撑架上转动连接有竖直的主转轴,主转轴与旋转驱动机构传动连接,切割刀片固定在主转轴上端,切割刀片呈圆形,切割刀片的轴线竖直设置;所述工作台上对应加工槽设置有可纵向移动的移动座,移动座上设置有可横向移动的横移座,横移座上设置有可上下移动的刀具座,刀具座上安装有加工刀具,所述加工刀具与切割刀片相对应设置;与所述工作台相对应地设置有上下料机构。本发明能够方便地将切割刀片的表面研磨平整,使得切割刀片的再利用率提高。

主权项:1.一种切割刀片背面刮痕处理装置,其特征在于,包括水平设置的矩形工作台,工作台下侧设置有若干竖直的支撑腿,工作台上竖直贯穿开设有加工槽,加工槽下方设置有与工作台相固定连接的U形支撑架,支撑架上转动连接有竖直的主转轴,主转轴与旋转驱动机构传动连接,切割刀片固定在主转轴上端,所述切割刀片呈圆形,切割刀片的轴线竖直设置;所述工作台上对应加工槽设置有可纵向移动的移动座,移动座上设置有可横向移动的横移座,横移座上设置有可上下移动的刀具座,刀具座上安装有加工刀具,所述加工刀具与切割刀片相对应设置;与所述工作台相对应地设置有上下料机构;所述加工槽包括矩形主体槽和刀具槽一,主体槽的宽度大于刀具槽一的宽度,主体槽内设置有上下对应分布的滑动盖板和导向板,滑动盖板的前后两侧均与相应主体槽侧壁滑动连接,所述导向板与主体槽内壁相固定,滑动盖板向右移动至与主体槽右侧壁相贴靠时,切割刀片位于滑动盖板的垂直向下投影区域之内;滑动盖板上对应切割刀片竖直贯穿开设有刀具槽二,刀具槽一和刀具槽二均对应加工刀具设置;所述旋转驱动机构包括对应主转轴设置在支撑架下方的主电机,主电机的竖直输出端与主减速器的输入端相传动连接,主减速器的输出端与主转轴相传动连接,切割刀片通过弹簧夹头固定在主转轴上。

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权利要求:

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