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一种晶硅片背面碱抛光固态添加剂及其制备方法 

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申请/专利权人:绍兴拓邦新能源股份有限公司

摘要:本发明公开了一种晶硅片背面碱抛光固态添加剂及其制备方法,固态添加剂由以下原料经物料混合、压片等步骤制成:15‑30%的崩解剂、5‑20%的润滑剂、35‑50%的填充剂、3‑15%的粘合剂、20‑35%的活性物质;崩解剂由碱性易溶固态盐与易溶固态酸组成;粘合剂为海藻酸钠、麦芽糖醇、聚维酮中的至少一种或为十二烷基苯磺酸;活性物质为烷基糖苷、羟乙基纤维素、苯甲酸钠、焦亚硫酸钠中的至少一种。本发明通过控制固态添加剂片剂中各组分的占比,使片剂在含碱热水中既能快速崩解也能对硅片进行有效抛光,并兼具降低生产成本、提高生产效率与抛光效率、延长产品有效期的优点。

主权项:1.一种晶硅片背面碱抛光固态添加剂,其特征在于:该固态添加剂由以下质量百分含量的原料制成:15-30%的崩解剂、5-20%的润滑剂、35-50%的填充剂、3-15%的粘合剂、20-35%的活性物质;所述崩解剂由碱性易溶固态盐与易溶固态酸按质量比为1:1-3组成;所述粘合剂为海藻酸钠、麦芽糖醇、聚维酮中的至少一种或为十二烷基苯磺酸;所述活性物质为烷基糖苷、羟乙基纤维素、苯甲酸钠、焦亚硫酸钠中的至少一种;所述碱性易溶固态盐为碳酸钠、碳酸氢钠、碳酸钾中的至少一种;所述易溶固态酸为酒石酸、苹果酸中的至少一种;所述润滑剂为聚乙二醇、月桂醇硫酸镁、滑石粉、硬脂酸镁中的至少一种;所述填充剂为甘露醇、微晶纤维素、糖粉、淀粉中的至少一种。

全文数据:

权利要求:

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