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申请/专利权人：绵阳炘皓新能源科技有限公司
摘要：本发明公开了一种基于PVD的TOPCon太阳能电池及其制备方法，涉及太阳能电池技术领域；包括硅基体和沉积在硅基体背面的多层Poly‑SiSiOx钝化结构，所述的多层Poly‑SiSiOx钝化结构包括多层隧穿氧化层和多层Poly‑Si层，多层所述的隧穿氧化层和Poly‑Si层相互交替设置，所述硅基体正面依次设置有硼发射极层、AlOx钝化层和前表面SiNx减反射层，所述钝化结构层上设置有背表面SiNx减反射层；本发明能够阻碍磷原子深度扩散于硅基体，优化磷原子在电池背表面的分布，减少复合中心，降低复合电流，提升短路电流，改善了TOPCon电池的转换效率，且工艺时间短、温度低，提高了生产效率。
主权项：1.一种基于PVD的TOPCon太阳能电池，其特征在于，包括硅基体5和沉积在硅基体5背面的多层Poly-SiSiOx钝化结构，所述的多层Poly-SiSiOx钝化结构包括多层隧穿氧化层和多层Poly-Si层，多层所述的隧穿氧化层和Poly-Si层相互交替设置，所述硅基体5正面依次设置有硼发射极层3、AlOx钝化层2和前表面SiNx减反射层1，所述钝化结构层上设置有背表面SiNx减反射层11。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 绵阳炘皓新能源科技有限公司 一种基于PVD的TOPCon太阳能电池及其制备方法
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