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申请/专利权人：日亚化学工业株式会社
摘要：本发明提供一种小尺寸的硅光学部件。本发明的硅光学部件的制造方法具有如下的工序：准备具有第一主面及所述第一主面相反侧的第二主面的硅基板；在所述第一主面上形成掩模图案；使用所述掩模图案作为掩模从所述第一主面侧对所述硅基板进行湿式蚀刻，形成一个或多个倾斜面；支承所述硅基板的所述第一主面侧，以不到达所述一个或多个倾斜面的方式将所述硅基板从所述第二主面向所述第一主面侧部分地除去，在比所述第二主面靠所述第一主面侧形成第三主面；在所述第三主面设置反射膜，形成反射面；将所述硅基板单片化为分别包含所述倾斜面及所述反射面的多个光学部件。
主权项：1.一种硅光学部件的制造方法，其中，具有如下的工序：准备具有第一主面及所述第一主面相反侧的第二主面的硅基板；在所述第一主面上形成掩模图案；使用所述掩模图案作为掩模从所述第一主面侧对所述硅基板进行湿式蚀刻，形成一个或多个倾斜面；支承所述硅基板的所述第一主面侧，以不到达所述一个或多个倾斜面的方式将所述硅基板从所述第二主面向所述第一主面侧部分地除去，在比所述第二主面靠所述第一主面侧形成第三主面；将所述硅基板单片化为分别包含所述倾斜面及所述第三主面的多个硅光学部件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日亚化学工业株式会社 硅光学部件的制造方法、硅光学部件及发光装置
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