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一种用于制备高表面质量蓝宝石晶圆的高效抛光液 

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申请/专利权人:河北工业大学

摘要:本发明为一种用于制备高表面质量蓝宝石晶圆的高效抛光液。该抛光液的组成包括:磨料的质量百分浓度为1.5~3.0%,分散剂的质量百分浓度为0.15~0.3%,络合剂的质量百分浓度为0.125~0.375%,抛光液体系的pH值为11~13;所述的磨料为氧化铝;所述的分散剂为多元羧酸铵盐;所述的络合剂为乙二胺四乙酸二钠、四丙基溴化铵和四丙基氯化铵中的一种或多种。本发明实现了提高抛光后蓝宝石晶圆表面质量的同时,又有着较高的去除速率,高效制备了表面超光滑的蓝宝石晶圆。

主权项:1.一种用于制备高表面质量蓝宝石晶圆的高效抛光液,其特征为该抛光液的组成包括:磨料的质量百分浓度为1.5~3.0%,分散剂的质量百分浓度为0.15~0.3%,络合剂的质量百分浓度为0.125~0.375%,抛光液体系的pH值为11~13;所述的磨料为氧化铝;所述的分散剂为多元羧酸铵盐;所述的络合剂为乙二胺四乙酸二钠EDTA-2Na、四丙基溴化铵TPAB和四丙基氯化铵TPAC中的一种或多种;pH调节剂为复合碱,该复合碱为无机碱和有机碱的复配,无机碱和有机碱复配的质量比为1:10~10:1;所述无机碱选自氢氧化钠、氢氧化钾、氨水中的一种或几种;所述有机碱选自乙基三甲基氢氧化铵、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵和四丁基氢氧化铵中的一种或几种。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 河北工业大学 一种用于制备高表面质量蓝宝石晶圆的高效抛光液

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