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适用于亚微米测量的基于光学隧穿效应传感器的稳定系统 

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申请/专利权人:北京中航天佑科技有限公司

摘要:本发明提供适用于亚微米测量的基于光学隧穿效应传感器的稳定系统,包括光学隧穿效应传感器、控制单元、稳定系统、数据处理与显示单元,所述光学隧穿效应传感器包括针尖探测单元,所述针尖探测单元与待测物体接触并产生隧穿电流;所述控制单元用于接收并处理光学隧穿效应传感器输出的隧穿电流信号;所述稳定系统用于实时监测环境因素,包括温度控制单元和振动抑制单元,以保持环境稳定;所述数据处理与显示单元,用于处理和显示测量得到的位移信息,利用光学隧穿效应传感器,能够实现对亚微米级位移的高精度测量,通过精密的针尖探测单元和优化的隧穿电流信号处理算法,系统能够准确地捕捉待测物体的微小位移,实现对亚微米级位移的准确测量。

主权项:1.适用于亚微米测量的基于光学隧穿效应传感器的稳定系统,其特征在于:包括光学隧穿效应传感器、控制单元、稳定系统、数据处理与显示单元,所述光学隧穿效应传感器包括针尖探测单元,所述针尖探测单元与待测物体接触并产生隧穿电流;所述控制单元用于接收并处理光学隧穿效应传感器输出的隧穿电流信号;所述稳定系统用于实时监测环境因素,包括温度控制单元和振动抑制单元,以保持环境稳定;所述数据处理与显示单元,用于处理和显示测量得到的位移信息。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京中航天佑科技有限公司 适用于亚微米测量的基于光学隧穿效应传感器的稳定系统

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