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申请/专利权人：中国科学院光电技术研究所
摘要：本发明公开了一种光刻投影物镜像散调节变形镜机构，包括下压环、导轨座、动环、钢球、钢球座、微调铰链、平端紧定螺钉、镜片、驱动杆及调节锁紧块。导轨座安装在下压环上，动环安装在下压环与导轨座之间，动环上方斜面与钢球表面接触，钢球包裹于钢球座内，钢球座通过螺纹连接在微调铰链上，钢球座上方用平端紧定螺钉压紧。微调铰链上方安装镜片。驱动杆顺时针转动时，带动动环顺时针转动，进而带动一组对称分布的钢球向上移动，钢球带动钢球座向上运动，从而带动微调铰链上对称的一组铰链向上运动，此时镜片对称两点产生变形，用以补偿一个方向的像散。当驱动杆逆时针转动时，用以补偿另一个方向的像散。调节精度高，重复性好，易于安装调节。
主权项：1.一种光刻投影物镜像散调节变形镜机构，其特征在于：该装置包括：下压环、导轨座、动环、钢球、钢球座、微调铰链、平端紧定螺钉、镜片、驱动杆及调节锁紧块；导轨座安装在下压环上，动环安装在下压环与导轨座之间，动环能够沿着圆周方向转动，动环上方斜面与钢球表面接触，钢球包裹于钢球座内，钢球座通过螺纹连接在微调铰链上，钢球座上方用平端紧定螺钉压紧，微调铰链上方安装镜片，驱动杆固定于动环上，驱动杆顺时针转动时，带动动环顺时针转动，进而带动一组对称分布的钢球向上移动，钢球带动钢球座向上运动，从而带动微调铰链上对称的一组铰链向上运动，此时镜片对称两点产生变形，用以补偿一个方向的像散，此时，另一组对称分布的钢球与动环分开，当驱动杆逆时针转动时，另一组钢球与动环接触，此时镜片上的变形位置转动90度，用以补偿另一个方向的像散，调节锁紧块安装在驱动杆上，随驱动杆沿圆周转动，像散调节到位后，将调节锁紧块与导轨座固定，将驱动杆锁紧在当前位置。
全文数据：
权利要求：
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