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申请/专利权人：中国科学院光电技术研究所

摘要：本发明公开了一种用于物镜像质检测的物镜调平旋转装置，是基于哈特曼波前测量原理的物镜像质检测台的子模块，其包括物镜调平机构和物镜旋转机构。物镜调平机构可以实现物镜相对于哈特曼传感器的角度调整和像距调整；物镜旋转机构可以实现物镜的旋转，可以消除波像差测量中的非旋转对称误差项，从而标定哈特曼测量的系统误差，提升波像差的测量精度。

主权项：1.一种用于物镜像质检测的物镜调平旋转装置，其为基于哈特曼波前测量原理的物镜像质检测台的子模块，其特征在于：所述物镜调平旋转装置包括物镜调平机构（100）和物镜旋转机构（200）；其中，所述物镜调平机构（100）用于实现物镜相对于哈特曼传感器的角度调整和像距调整；所述物镜旋转机构（200）可以实现测试过程中物镜的旋转，从而标定哈特曼测量的系统误差；所述物镜调平机构（100）包括三个调平块（101）和一个物镜连接法兰（102）；所述三个调平块（101）固定在物镜像质检测台的主基板上，每个调平块（101）均由螺杆（103）、螺母（104）、楔形块（105）和球碗垫片（106）组成，其中所述螺杆（103）置于所述楔形块（105）内，所述螺母（104）与所述螺杆（103）连接，所述螺杆（103）、螺母（104）和楔形块（105）可将水平旋转运动转换成垂向的升降运动从而改变调平块的高度；三个调平块（101）同时调整相同高度或不同高度可以实现物镜的像距调整或角度调整；所述球碗垫片（106）设于所述调平块上部以适应调平块不同高度时螺钉的锁紧，该螺钉用于连接物镜连接法兰（102）和调平块（101）；所述物镜连接法兰（102）下端面与调平块（101）连接，其上端面与物镜法兰下端面连接；所述物镜旋转机构（200）包括轴承座（201）、上压块（202）、交叉滚子轴环（203）、物镜旋转法兰（204）和下压环（205）；所述轴承座（201）固定在物镜像质检测台的主基板上；交叉滚子轴环（203）安装于轴承座（201）内；上压块（202）固定于轴承座（201）上，用于压紧交叉滚子轴环（203）的外环；物镜旋转法兰（204）固定于交叉滚子轴环（203）的内环，其下端与下压环（205）连接，物镜旋转法兰（204）可以跟随交叉滚子轴环（203）的内环旋转，同时其下端面设有三处凸台用于与所述物镜法兰上端面连接，以带动物镜做多个方向的旋转运动。

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