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申请/专利权人:南京埃米仪器科技有限公司
摘要:本发明公开了一种干涉物镜,包括显微物镜和微球透镜,微球透镜设置在显微物镜上,微球透镜为采用玻璃、塑料或凝胶制成的一种透镜结构,微球透镜的工作面型为球面、非球面或自由曲面;微球透镜的外径为0.01mm~1mm,厚度为0.005mm~1mm。优点,本发明,将微球透镜的光学元件结构与干涉物镜相结合,以得到更精确的干涉条纹和测量精度;将普通干涉物镜在物面上XY方向的分辨率通过微球透镜的方式大幅度提高,可以提高2~10倍;其中微球透镜结构与不同常规干涉物镜可以互相匹配,不同的微球物镜针对常规干涉物镜均有2~10倍的放大效果。
主权项:1.一种干涉物镜,包括Michelson微球干涉物镜,其特征在于,还包括两个微球透镜(1),所述Michelson微球干涉物镜包括一路主光路和一路参考光路,所述主光路经过一个微球透镜(1)、分光镜(2)、至少一个显微物镜组(4)和一个镜筒透镜(5),最后由相机(6)接收;所述参考光路经过平面反射镜(3)进入另一个微球透镜(1)后,进入分光镜(2)、至少一个显微物镜组(4)和一个镜筒透镜(5),最后由相机(6)接收;所述的两个微球透镜(1)均通过微球透镜工装(14)分别装在Michelson微球干涉物镜上的主镜座(17)的末端和分光镜座(15)的末端;所述主镜座(17)和分光镜座(15)垂直设置;所述微球透镜的工作面型为球面、非球面或自由曲面;微球透镜的外径为0.2mm~5mm,厚度为0.1mm~2mm;微球透镜的工作面为非球面结构,其面型的数学表达式为: ;其中,z为微球透镜面型的轴向的高度值是一个因变量,r为透镜外径是一个自变量,c为曲率半径,k为圆锥系数,α1、α2、α3、α4分别为不同阶数的系数。
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百度查询: 南京埃米仪器科技有限公司 一种干涉物镜
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