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申请/专利权人：广州市易鸿智能装备股份有限公司
摘要：本实用新型涉及硅片检测技术领域，本实用新型公开了一种限位机构及硅片崩边检测装置，包括运输单元，所述运输单元包括支撑架、设置于支撑架上方的动力组件、滑动于动力组件上方的运输组件以及设置于支撑架一侧的限位组件，所述限位组件与运输组件配合使用，所述限位组件与支撑架卡合配合。本实用新型的有益效果为通过支撑架、动力组件和运输组件的配合，能够实现对硅片进行传输，且通过限位组件的作用能够对运输组件进行限位操作，方便了工作人员对两个运输组件之间距离的调节，使其能传送不同尺寸的硅片；通过辅助组件和相机的设置，能够对硅片进行全方位的检测，通过辅助组件对硅片上投射光，实现相机对硅片观察的更加细致。
主权项：1.一种限位机构，其特征在于：包括，运输单元100，所述运输单元100包括支撑架101、设置于支撑架101上方的动力组件102、滑动于动力组件102上方的运输组件103以及设置于支撑架101一侧的限位组件104，所述限位组件104与运输组件103配合使用，所述限位组件104与支撑架101卡合配合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州市易鸿智能装备股份有限公司 一种限位机构及硅片崩边检测装置
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