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申请/专利权人：微纳感知(合肥)技术有限公司

摘要：本发明公开了一种基于MEMS低功耗气体传感器的制备方法及制备的传感器，涉及传感器技术领域。本发明采用一种水热合成方法制备稀土元素Ce、Zr掺杂的Al2O3载体材料，浸渍法负载贵金属制备催化材料，将制备的载体材料和催化材料分别负载于MEMS微热板上，封装制得MEMS甲烷催化燃烧气体传感器。有益效果：本发明提出了一种xCeO2‑yZrO2‑Al2O3载体材料，并以该载体材料制作催化材料，用该载体材料、催化材料与MEMS微热板稳定的结合在一起的，制成MEMS传感器，使得该MEMS传感器具有灵敏度高的同时功耗低的技术效果。本发明制备的传感器具备低功耗、灵敏度的优势，在矿山物联网中的无线传感器网络系统上有很大的应用潜力。

主权项：1.一种基于MEMS低功耗气体传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）载体材料的制备：将铝盐、铈盐和锆盐溶解于水中，再加入尿素，将溶液转移至水热釜中，进行水热反应，水热反应结束后，将沉淀进行离心清洗，去除杂质离子，再进行干燥及热处理，得到xCeO2-yZrO2-Al2O3载体材料，其中CeO2、ZrO2、Al2O3的摩尔比为x：y：1，x=0.02~0.1，y=0.01~0.04；其中，尿素的摩尔数大于铝盐、铈盐和锆盐摩尔数之和的3倍；（2）催化材料的制备：将酸性钯溶液或者酸性钯和铂溶液，加入去离子水，再将步骤（1）制得的xCeO2-yZrO2-Al2O3载体材料浸入其中，搅拌均匀后，超声20-40min，继续搅拌2-4h后，进行干燥及热处理，得到负载钯或者钯和铂的xCeO2-yZrO2-Al2O3催化材料；其中，去离子水的量根据载体材料量确定，以将载体材料完全浸没为准；（3）MEMS传感器器件的制备：S1：将步骤（1）制得的xCeO2-yZrO2-Al2O3载体材料、步骤（2）制得的负载钯或者钯和铂的xCeO2-yZrO2-Al2O3催化材料分别与有机溶剂混合均匀，制得载体材料涂覆浆料和催化材料涂覆浆料；S2：将步骤S1中制得的催化材料涂覆浆料加载到第一MEMS微热板上，进行热处理，制得催化元件；S3：将步骤S1中制得的载体材料涂覆浆料加载到第二MEMS微热板上，进行热处理，制得载体元件；S4：将步骤S2制得的催化元件和步骤S3制得的载体元件进行贴片、打线、封帽，制得MEMS传感器器件。

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