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申请/专利权人：国立大学法人东京大学;株式会社鹭宫制作所
摘要：一种梳齿型元件的制造方法，该梳齿型元件具备经由间隙相互啮合地配置的多个固定梳齿和多个可动梳齿，并且上述可动梳齿与上述固定梳齿的啮合量可变，其中，在被蚀刻基材的表面形成用于形成上述固定梳齿的第一掩模图案和用于形成上述可动梳齿的第二掩模图案，在相邻的上述第一掩模图案之间以及相邻的上述第二掩模图案之间的上述被蚀刻梳齿基材上配置被蚀刻掩模图案，并且该被蚀刻掩模图案的厚度根据相邻的上述固定梳齿与上述可动梳齿之间的第一间隙尺寸和相互相邻的上述固定梳齿之间的第二间隙尺寸来形成，通过Deep‑RIE对上述被蚀刻基材及上述被蚀刻掩模图案进行蚀刻，形成上述固定梳齿及上述可动梳齿。
主权项：1.一种梳齿型元件的制造方法，该梳齿型元件具备经由空隙相互啮合地配置的多个固定梳齿和多个可动梳齿，并且上述可动梳齿相对于上述固定梳齿的啮合量可变，上述梳齿型元件的制造方法的特征在于，在被蚀刻基材的表面形成用于形成上述固定梳齿的第一掩模图案和用于形成上述可动梳齿的第二掩模图案，在相邻的上述第一掩模图案之间以及相邻的上述第二掩模图案之间的上述被蚀刻基材上配置被蚀刻掩模图案，并且该被蚀刻掩模图案的厚度根据相邻的上述固定梳齿与上述可动梳齿之间的第一间隙尺寸和相互相邻的上述固定梳齿之间的第二间隙尺寸而形成，通过Deep-RIE对上述被蚀刻基材及上述被蚀刻掩模图案进行蚀刻，形成上述固定梳齿及上述可动梳齿。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国立大学法人东京大学 株式会社鹭宫制作所 梳齿型元件的制造方法
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