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申请/专利权人：合肥工业大学
摘要：本发明公开了一种静电梳齿驱动的二维MEMS扫描镜，包括由下到上依次连接的基底、埋氧层和器件层；所述器件层包括内层、中间层和外层；所述内层包括扫描镜镜面、快轴直扭转梁和快轴S型扭转梁，所述中间层包括可动框架和慢轴直扭转梁，所述外层包括固定框架。本发明能够提高器件面积的利用率，能够实现扫描镜在谐振扫描的工作模式下，在增大偏转角同时大幅度降低驱动电压。
主权项：1.一种静电梳齿驱动的二维MEMS扫描镜，其特征在于：包括由下到上依次连接的基底3、埋氧层2和器件层1；所述器件层1包括内层25、中间层26和外层27；所述内层25包括扫描镜镜面5、快轴直扭转梁6和快轴S型扭转梁7，所述中间层26包括可动框架9和慢轴直扭转梁16，所述外层27包括固定框架23；所述可动框架9的中部开设有扫描镜镜面安装腔，所述扫描镜镜面5的两端依次通过所述快轴直扭转梁6和所述快轴S型扭转梁7与所述扫描镜镜面安装腔的内侧两端连接，所述固定框架23中部开设有可动框架安装腔，所述慢轴直扭转梁16设置在所述扫描镜镜面安装腔外侧中部，且所述慢轴直扭转梁16设置的方向与所述快轴直扭转梁6设置的方向垂直，所述可动框架9通过所述慢轴直扭转梁16与所述可动框架安装腔的内侧中部连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥工业大学 静电梳齿驱动的二维MEMS扫描镜
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