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申请/专利权人：包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种防断棱的大尺寸单晶放肩方法，包括设定一个基础拉速V0L，确定基础拉速V0L下对应的单晶直径设定变化速率V0d，通过单晶炉操作系统计算单晶直径在单位时间内的实际变化速率V实d，然后比较单晶直径的设定变化速率V0d与实际变化速率V实d的大小；通过比较二者的偏差量，系统自行计算拉速调整量并对基础拉速进行实时调整。本发明的优点是有效避免了放肩过程中长晶界面温度梯度多变与设定的拉速不匹配而产生断棱异常，提高放肩成活率。
主权项：1.一种防断棱的大尺寸单晶放肩方法，所使用的系统包括单晶炉操作系统，具体步骤如下，其特征在于，包括：（1）放肩过程中，先设定一个基础拉速V0L；（2）确定基础拉速V0L下对应的单晶直径设定变化速率V0d；（3）通过单晶炉操作系统计算单晶直径在单位时间内的实际变化速率V实d；（4）比较单晶直径的设定变化速率V0d与实际变化速率V实d的大小；（5）当实际液温与标准液温保持一致时，单晶直径正常生长，即V0d=V实d，此时实际拉速V实L即为基础拉速V0L；（（6）当实际液温变低时，单晶直径生长较快，即V实d＞V0d时，实际拉速V实L输出为基础拉速V0L与拉速调整量x之和；（7）当实际液温变高时，单晶直径生长较慢，即V实d＜V0d时，实际拉速V实L输出为基础拉速V0L与拉速调整量x之差；（8）根据步骤（5）~（7）中的不同情况，通过比较直径在单位时间内的实际变化速率V实d与设定变化速率V0d的偏差量，系统自行计算拉速调整量并对基础拉速进行实时调整。
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权利要求：
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