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申请/专利权人：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
摘要：本发明公开了一种射频变压器、电离组件及等离子体产生装置，涉及等离子体技术领域。其中，射频变压器包括初级线圈，以及与初级线圈相耦合且同轴设置的次级线圈；初级线圈用于接入外部射频电源或外部阻抗匹配器，并通过互感在次级线圈中产生感应电势；初级线圈与次级线圈由中空金属管绕制而成，内部可通过循环冷却水进行冷却。在电离组件和等离子体产生装置中，该射频变压器用于周期性变换第一电极和第二电极的极性，以使第一电极和第二电极之间产生射频电场，用于将工艺气体电离为等离子体。本发明提供的射频变压器悬空不接地，且线圈内部中空可供水冷循环，提升了系统的安全性和稳定性。
主权项：1.一种射频变压器，其特征在于，包括：安装座；初级线圈，设于所述安装座；次级线圈，设于所述安装座，所述次级线圈与所述初级线圈同轴设置且相耦合；所述初级线圈用于接入外部射频电源或外部阻抗匹配器，并通过互感在所述次级线圈中产生感应电势。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 射频变压器、电离组件及等离子体产生装置
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