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申请/专利权人：北京理工大学
摘要：本发明公开光学元件表面缺陷全场识别与定位方法及系统，通过面形测量干涉仪和平移台采集多帧干涉图，利用差分方法去除其中的相同部分，利用去低频方法分离出其中的低频部分，重构多帧干涉图，分离出多帧干涉图强度信息中由表面缺陷引起的闭合同心环状特征，利用目标识别方法识别闭合同心环状特征，实现对表面缺陷的全场识别与定位。与传统表面缺陷检测方法相比，充分利用了干涉图中由表面缺陷引入的高频强度信息对缺陷进行全场识别和定位，能够兼顾检测的精度与效率，实现较为精确的动态监测，在识别表面缺陷的同时实现对表面缺陷的定位，可完成光学元件的全场识别与定位，加快了检测速度，提高了检测精度。
主权项：1.光学元件表面缺陷全场识别与定位方法，其特征在于：其包括以下步骤：1利用面形测量干涉仪和平移台，逐步移动待测元件的轴向位置，得到不同轴向位置处的多帧干涉图；2利用差分方法对多帧干涉图携带的强度信息进行处理，去除多帧干涉图携带的强度信息中彼此相同的强度信息，利用剩余信息重构干涉图的强度信息，所述差分方法为帧间差分法或背景差分法；3利用去低频方法对步骤2中重构的多帧干涉图的强度信息进行处理，去除其携带的强度信息中低频的部分，利用剩余高频部分再次重构干涉图的强度信息；4利用目标识别方法对步骤3中重构的多帧干涉图的强度信息中的闭合同心环状特征进行检测，完成表面缺陷的识别；5获取步骤4中识别的表面缺陷的像素坐标，通过干涉图的像素坐标与被测元件的实际坐标之间的对应关系，计算得到表面缺陷在被测元件表面的坐标，完成表面缺陷的定位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京理工大学 光学元件表面缺陷全场识别与定位方法及系统
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