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申请/专利权人：天通凯巨科技有限公司
摘要：一种用于钽酸锂晶片双面抛光的防崩边游星轮，包括游星轮本体，所述游星轮本体的外周设置有齿轮，所述游星轮主体设有第一漏液孔和第二漏液孔，第一漏液孔位于游星轮主体中间，第二漏液孔位于放置孔两侧，所述游星轮主体设有防护环，所述放置孔内侧设有防护环，所述防护环与放置孔连接处设有限位槽，所述指示孔位于第一漏液孔和放置孔中间。本实用新型通过优化游星轮材质和结构解决了现有游星轮在抛光过程中造成晶圆崩边、划伤加工器具、生产效率低的问题，将不同尺寸防护环固定至游星轮后可分别用于4英寸、6英寸、8英寸晶圆的抛光加工。
主权项：1.一种用于钽酸锂晶片双面抛光的防崩边游星轮，包括主体1，其特征在于：所述主体1的外周设置有齿轮3，所述主体1的中间设有第一漏液孔4，所述主体1上开设七个放置孔6，所述放置孔6为圆形，所述放置孔6均匀分布于第一漏液孔4的外侧，所述放置孔6内壁设有防护环7，所述放置孔6与防护环7连接处设有限位槽5，相邻限位槽5的间距相同，每组放置孔6设有四个限位槽，所述主体1上开设七个第二漏液孔2，所述第二漏液孔2位于放置孔6外侧，每个第二漏液孔2与相邻放置孔6的距离相同，所述主体1设有指示孔8，所述指示孔8形状为等腰三角形，所述指示孔8棱角处设为圆角。
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百度查询： 天通凯巨科技有限公司 一种用于钽酸锂晶片双面抛光的防崩边游星轮
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