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申请/专利权人：日产化学株式会社
摘要：一种抗蚀剂下层膜，是作为抗蚀剂下层膜形成用组合物的涂布膜的烧成物的、抗蚀剂下层膜，上述抗蚀剂下层膜形成用组合物含有聚合物，上述聚合物含有：具有多环芳香族烃结构的单元结构A、和来源于马来酰亚胺结构的单元结构B中的至少任一单元结构，上述抗蚀剂下层膜的膜厚小于10nm。
主权项：1.一种抗蚀剂下层膜，其为抗蚀剂下层膜形成用组合物的涂布膜的烧成物，所述抗蚀剂下层膜形成用组合物含有聚合物，所述聚合物含有：具有多环芳香族烃结构的单元结构A、和来源于马来酰亚胺结构的单元结构B中的至少任一单元结构，所述抗蚀剂下层膜的膜厚小于10nm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日产化学株式会社 包含含有多环芳香族的聚合物的抗蚀剂下层膜形成用组合物
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