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申请/专利权人：张江国家实验室
摘要：本发明涉及一种X射线散射量测装置及X射线散射量测方法，通过对X射线源、第一X射线聚焦镜、第二X射线聚焦镜、至少一个光阑的位置；第一X射线聚焦镜、第二X射线聚焦镜的姿态；以及至少一个光阑的尺寸进行调节，从而能够使得从X射线源发出的X射线入射到待测样品上而形成较小的光斑截面尺寸，因而能够获得更小的量测区域尺寸。
主权项：1.一种X射线散射量测装置，其特征在于，包括：X射线源，所述X射线源用于发出X射线；第一X射线聚焦镜，所述第一X射线聚焦镜布置于所述X射线源和第二X射线聚焦镜之间，用于将从所述X射线源发出的X射线朝向第二X射线聚焦镜进行第一次反射；第二X射线聚焦镜，所述第二X射线聚焦镜布置于所述第一X射线聚焦镜和待测样品之间，用于将所述第一次反射来的X射线朝向所述待测样品进行第二次反射；至少一个光阑，所述至少一个光阑布置于经由所述X射线源、所述第一X射线聚焦镜、所述第二X射线聚焦镜、所述待测样品的光路中，用于对所述X射线进行限束并调整所述X射线的发散角；以及X射线面阵探测器，所述X射线面阵探测器用于对入射到所述待测样品上形成的光斑进行检测，其中，所述光斑的截面尺寸小于等于规定长度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 张江国家实验室 X射线散射量测装置及X射线散射量测方法
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